测量系统的指标--分辨指数

• 分辨指数是测量系统从工艺数据中可辨认的不同读数的数量

• 分辨指数是一个分辨率指标

• 分辨指数是重复性和复制性的函数

• 最好情形：ɰ ，可接受的：3-4

DC1

DC2

DC3

DC4

X X

X

测量的 X 在何方？ X 是在这

两个读数之间的某个地方，但

是我不知道具体在哪儿

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