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《扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧研讨班》

课程对象

电镜操作人员 电子元器件失效分析工程师 电子工艺工程师 品质工程师

师资介绍：

施明哲, 高级工程师，二十多年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。在电子光学和真空技术方面有丰富的工作经验，在会议和刊物上发表了十多篇专业水平较高的文章，并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。参与的科研工作曾多次获得所一等奖、二等奖；《VLSI失效分析技术》获国防科学技术二等奖。



培训时间：06年9月18日——22日

培训地点：电子五所院内

培训费用：4000元/人.五天

培训证书 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训证书

课时安排：

日期
时间
授课内容

9月18日
9：00－12：00
扫描电镜理论学习

14：00－17:00

9月19日
8：30－12：00

14：00－17:00

9月20日
8：30－12：00
能谱仪理论学习

14：00－17:00

9月21日
8：30－12：00

14：00－17:00

9月22日
8：30－12：00
扫描电镜/能谱仪演示与答疑

14：00－17:00
扫描电镜/能谱仪实际操作与典型照片讲解


联系方式：

联系人：程卫民 电话：0769-22334517 手机：13424700696 传真：0769-22502896

EMAIL: ceprei_chan#163.com


说明：

1，请详细填写报名表格，发传真或Email给我们。

2，收到您的报名表后，本中心客户代表会致电给您进一步确认培训细则。

3，现场以现金或支票方式支付

1)费用包括：培训费、资料费、证书费、午餐费，食宿自理。

2)时间安排 报到：9月18日上午8：00—9：00

4，需要在五所招待所住宿的客户，可以联系：020-87237064，标准双人间：168元/天。





课程内容提纲

第一部分：扫描电镜

第一章：扫描电镜

1．1 慨论

1．2扫描电镜原理

1． 3扫描电镜结构

1． 5扫描电镜的分辨率

1． 6扫描电镜图像的形成

第二章：高分辨扫描电子显微镜

2． 1 场发射扫描电子显微镜

2．2 SE和BSE之差做为信号的方式

2．3 工作距离
2．4 使用强磁物镜的方式

第三章：扫描电子显微镜的实践

3．1 扫描电子显微镜的操作

3．2 扫描电子显微镜图像的毛病

3．3 扫描电子显微镜的保养

3．4 扫描电子显微镜的安装条件

3．5 扫描电子显微镜的验收与维护

3．6小结

第四章：计算机图像演示


第二部分：能谱分析

第一章、引 言

第二章、EDS系统的工作原理

1．系统概述

2.吸收和处理过程

3．计数率的考虑

4．谱仪的分辨率

第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用

1．萤光产额

2．连续辐射的产生

3．莫塞莱定律 X射线定性分析

4．X射线的吸收

5．二次发射（萤光）

第四章、X射线测量

第五章、能量定性分析

1．检出限

2．探测器的效率

3．空间分辨率

3． 谱仪分辨率

4． 伪峰（“artifact”peaks）

5． 定性分析结果的表示方法
第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择

1．加速电压

2．电子源

3．孔径光栏选择

4．镜筒的合轴

5．样品/探测器的几何条件

第七章、定 量 分 析

1．脉冲计数统计误差

2．块状试样的定量分析：

第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤

1．定性分析概述

2．定量分析概述

第九章、能谱失真与杂散幅射

1．谱峰的失真

2．背底的失真

3．杂散辐射

第十章、能谱的验收与维护


第三部分：实际操作