PVD表面膜层处理工艺(溅镀)
介绍一种工艺:PVD----Phisical Vapor Deposition 物理气相沉积。行业称为“溅镀”。
基本原理:电场作用下Ar气体转化为Ar+,Ar+轰击N2形成N原子,同时被轰击的Ti金属基体飞溅出Ti金属原子与N形成TiN化合物,TiN在电场作用下飞溅至待沉积零件表面形成特殊沉积膜层,逐渐达到成膜的目的。TiN由于其膜层硬度极高,也可以做成不同颜色,已经应用到手机等等机壳表面处理。耐磨,美观。相似的方法还可以形成其他化合物膜层,得到更高的表面硬度,如SixCy,硼化物等等,配合于Au等膜层效果更佳。
详细的可以问我要资料,有资料的同学同志也请顶一下,相互交流。
关键词:PVD,溅镀,高硬度
基本原理:电场作用下Ar气体转化为Ar+,Ar+轰击N2形成N原子,同时被轰击的Ti金属基体飞溅出Ti金属原子与N形成TiN化合物,TiN在电场作用下飞溅至待沉积零件表面形成特殊沉积膜层,逐渐达到成膜的目的。TiN由于其膜层硬度极高,也可以做成不同颜色,已经应用到手机等等机壳表面处理。耐磨,美观。相似的方法还可以形成其他化合物膜层,得到更高的表面硬度,如SixCy,硼化物等等,配合于Au等膜层效果更佳。
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