CMI511测试过程中出现的奇怪现象

我们公司买了2台CMI511孔铜厚测试仪，近期出现一个奇怪的现象：两台测试仪器测试出的值相差>5um，通过校准标准片发现两台仪器相差最多1um，后发现可能是两仪器所处环境问题，因此对两仪器进行温度补偿，但效果不太明显，同一个人在不同时间测试同一部位测试值相差很大，请各位帮忙分析一下可能是哪方面的原因？
谢谢！