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对静电认识的发展历史

人类对静电放电危害的认识也是经历了一段漫长的历史,电子行业认识到ESD的危害只是最近几十年。表1.2列出了人类尤其是电子行业对ESD认识的发展过程,。
表1.2 对ESD认识的发展
1 千百年前,静电对人类来说曾经是非常神秘的
2 中国发明了火药后,静电对火药制造行业不再神秘了
3 美国独立战争期间,火药是在有潮湿的泥墙和泥地的房子里制造的
4 现在,在静电火花可能引起爆炸的行业如面粉厂、医院的手术室都采取了特殊的防静电措施。
5 在其它行业,静电仍然是神秘
6 在40和50年代,在塑料和胶片制造行业,发现静电问题
7 在50和60年代,在电子行业,出现静电问题。常常发生奇怪的失效,在光学显微镜下看不到失效原因。失效分析的结论是原因不明
8 MOS晶体管的普及和IC的发展使静电问题加剧
9 70年代,IC的几何尺寸缩小使问题更糟
10 真正的突破是半导体领域扫描电子显微镜的应用(70年代后期),第一次即使最小的ESD损伤也能看到
11 1979年,EOS/ESD研讨会成立,主要研究ESD问题,寻求解决方法
12 80年代初期,多数主要的电子制造商建立了他们的ESD组织,负责ESD问题
13 EOS/ESD也许是当今电子制造行业最主要的失效机理
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