Bias的疑問請較!

各位大家好,小弟最近剛開始接觸MSA,在bias部份有一疑問,也翻閱了6sq中的相關話題,還是不能體會,因此想請各位提供建議!
量測tool是CD SEM,是半導體常用機台,一般而言可以讀到小數以下四位(單位:um)
因為所測的值很小,差異也都很小,以MSA3.0來計算常常bias都會fail,所使用的是VLSI標準片(以底下例子,證書上是0.1999um CD),
想請問,

1. 以此例子來看,bias均很小,但確不能符合MSA3.0 95% 置信區間標準,若是要針對量測機台改善,是要改善平均值呢,還是改善standard deviation呢
2. 以MSA3.0來說,樣品可以拿到實驗是以更高級的量具來測量10次來當作基準值,但一般半導體廠均不可能有更高級的量具,只能依賴VLSI證書上提供的數子來當作參考,像