对膜厚测试仪的MSA研究（有分加）

1.对于偏倚，线性，稳定性。
1.1 偏倚指测量值与标准值之间的差异，只要有标准件就可以对其进行评价，无需用膜厚。
1.2 线性指在量具测量范围内不同量程时偏倚的增量，同样不需要用膜厚来评价。事实上偏倚和线性通常放在一起评价。
样本选取参考：5个部件（不同尺寸的，最好能代表该量具的量程），每个测量12次。可用Minitab评价。
1.3 稳定性指量具测量得到数据的质量。可以用X-Bar,R-chart来判断，判断准则与控制图的判稳准则相同。
2.关于GRR
注意你的规格为下限单边规格，
2.1 首先选10 个不同的部件.（要求变差可覆盖到你的过程，可以包括小于5um的）
2.2 选3个不同的作业者.
2.3 对三个不同的作业者进行培训，测量不同的部件，但每个人每次必须测量同一个地方的膜厚。
2.4 每个作业员测量3遍。
用以上步骤得到的结果用Minitab 进行分析就可以了.