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工艺技术

[求助]请教高手有关Wafer清洁、真空镀膜、光刻方面的问题

请问Wafer清洁、真空镀膜、光刻的生产过程如何进行控制，谢谢！

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stephenxu (威望:0) (上海宝山区) 其它行业员工

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以前做过光盘，有真空镀膜的步骤，不过没搞清楚过，

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