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如何测表面杂质的成分?

目前本人遇到一难题,本公司产品在进行某道工序后,表面会产生一些颗粒状的杂质,但分析来分析去也弄不懂它确切为何物,所以想求助各位,有没有一种方法或设备能分析出杂质的成分呢?

PS:估计杂质为金属、硅或金属氧化物,但我要得到准确的答案。

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用SEM可以测试,要是不是金属需要白金镀焊仪测试。
如果你需要的话我可以帮你测试,你把东西邮过来,我平时分析成分时经常用到。

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