电镀溶液SPC控制方法问题
各位,
有没有人做过对电镀或蚀刻溶液浓度进行SPC管控的经验的?客户要求我们对此进行SPC管控,
此类控制存在两个类型:
1)溶液自平衡型 :如电镀时的NiCl溶液,Ni有多少被消耗掉,那么,槽中的Ni饼就会溶解多少自动进行补充;此类数据理论上的分布应是正态的;
2)溶液消耗型,如除油过程中用的碱,使用的时间越长,消耗的量就大,碱的浓度就越低,此类数据理论上的分布应是不正态的,征对此情况,如何进行SPC管制?用什么去计算?,我用了nonnormal 进行分析,请大虾们指教是否正确
有没有人做过对电镀或蚀刻溶液浓度进行SPC管控的经验的?客户要求我们对此进行SPC管控,
此类控制存在两个类型:
1)溶液自平衡型 :如电镀时的NiCl溶液,Ni有多少被消耗掉,那么,槽中的Ni饼就会溶解多少自动进行补充;此类数据理论上的分布应是正态的;
2)溶液消耗型,如除油过程中用的碱,使用的时间越长,消耗的量就大,碱的浓度就越低,此类数据理论上的分布应是不正态的,征对此情况,如何进行SPC管制?用什么去计算?,我用了nonnormal 进行分析,请大虾们指教是否正确
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careli (威望:2) (广东 深圳) 电子制造 主管
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