氧气流量计计量问题

我们是做电子行业硅片衬底制造的企业（单位健标了），扩散炉流量校准的标准流量计，原来一直是用氮气流量计做校准，包括氧气流量，一直用氮气换算，去年为了不用换算直接买了一个氧气流量计，打算做氧气标准流量计，可是进口厂家未提供出厂计量合格证书，到货后，不知该如何进行计量？国内哪里能检啊？