PARTICLE 管理基准
小弟请教各位大虾一个问题:关于无尘室洁净度管理,在上一任公司管理基准为:1000级,0.3um不能超过1000个,0.5um不能超过10个为OK;现任我司前辈留的测量结果为0.3um+0.5um*10,文件上并没有详细规定,也没有参照什么标准。
请各位大虾指教关于PARTICLE 管理基准如何定义,是否有国际标准或可以参照。
Email:jiang_sdh@163.com
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