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膜厚仪问题

最近膜厚仪出了些问题,我们校正时会出现标准片的值有很大的误差?例如:我们以Au/Ni这片校正时,Au 的测试值OK,而测出的Ni 就有很大的误差;而以另一校正片(Sn/Ni)时Sn和Ni的测量值都没有误差?我们的标准片已经有褶皱,现在膜厚仪测试出的膜厚都是Ni偏低,膜厚仪我很少接触,对其不是很懂,你能否告诉我怎么解决这个问题?

注:校正和归一化后还是老样子,没什么变化!
希望有懂膜厚仪的帮帮忙!
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是Au/Ni片出现问题了吧?
你自己都说标准片已经褶皱了。
我们使用的是X光测试原理,你的也一样吧?俺 们要求标准片不得磕碰或随意放置,应保持洁净。
标准片是厂家提供的,你咨询一下厂家吧

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