微电子行业新厂房如何规划？

依照《GB 50073-2001 洁净厂房设计规范》去搞就行了。

目 次
1 总 则....................................................................................... 7
2 术 语....................................................................................... 8
3 空气洁净度等级.......................................................................... 12
4 总 体 设 计............................................................................... 13
4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置..............................................13
4.2 工艺平面布置和设计综合协调.................................................13
4.3 人员净化和物料净化.................................................................14
4.4 噪 声 控 制..............................................................................15
4.5 微 振 控 制..............................................................................16
5 建 筑..................................................................................... 18
5.1 一 般 规 定..............................................................................18
5.2 防火和疏散................................................................................18
5.3 室 内 装 修..............................................................................19
6 空 气 净 化............................................................................... 21
6.1 一 般 规 定..............................................................................21
6.2 洁净室压差控制........................................................................21
6.3 气流流型和送风量....................................................................22
6.4 空气净化处理............................................................................23
6.5 采暖通风、防排烟....................................................................23
6.6 风管和附件................................................................................24
7 给 水 排 水............................................................................... 26
7.1 一 般 规 定..............................................................................26
7.2 给 水.....................................................................................26
7.3 排 水.....................................................................................26
7.4 消防给水和灭火设备.................................................................27
8 气 体 管 道............................................................................... 28
8.1 一 般 规 定..............................................................................28
8.2 管道材料和阀门........................................................................28
@ www.fireren. co m 《洁净厂房设计规范》 资料编号： GB 50073- -2001
8.3 管 道 连 接..............................................................................29
8.4 安 全 技 术..............................................................................29
9 电 气..................................................................................... 31
9.1 配 电.....................................................................................31
9.2 照 明.....................................................................................31
9.3 通 信.....................................................................................32
9.4 自 动 控 制..............................................................................33
9.5 静电防护及接地........................................................................33
附录A 洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例........................ 35
附录B 净化空调系统设计对维护管理的要求.................................. 36
附录C 洁净室或洁净区性能测试和认证......................................... 37
C1 通 则......................................................................................37
C2 洁净室或洁净区性能测试要求..................................................37
C3 洁净室测试方法.........................................................................38
C4 监 测......................................................................................39
C5 认 证......................................................................................39
C6 记 录......................................................................................40
本规范用词说明............................................................................... 41