SPC制定控制图控制界限时,数据的滞后性如何解决
SPC技术必须先收集一定时问段的数据,才能确定相应的控制界限。这个往往是滞后的控制。比如我们需要对光刻的栅极关键尺寸大小进行控制.以传统的sPc的做法要先收集至少30个批次的硅片样品的关键尺寸火小,计算样本的标准差,然后以三倍的标准差为控制界限作图,以此判断工艺过程是否稳定。但随着硅片批次的增加,可参与计算的样本造成了控制界限的变化,那么就会有一个很尴尬的现象出现,就是以原先控制界限作为判断标准,整个工艺参数是处于稳定状态,所以相关人员不会对此进行特别处理;但是以新的控制界限来看,已经超出稳定状态,请问该如何处理呢
请问这种情况该如何处理呢?恳请各位大侠帮忙,谢谢!
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taeo维 (威望:0) (上海 ) 在校学生 工程师
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