材料形貌测定与分析

材料形貌测定与分析

测试项目：样品涂层厚度、定性成分分析
所用仪器：X射线荧光测厚仪
测试范围：测量常见镀层、涂层厚度，并同时进行成分分析
主要技术指标：
• 可测元素范围：钛Ti~铀U
• 可测多层膜厚：最多6层
• 成分分析：可同时定性分析30种元素


测试项目：微米、纳米尺度观察表面三维形貌
所用仪器：原子力显微镜
测试范围：材料表面的微结构及形貌，可得到表面原子级分辨图像，测量对样品表面无特殊要求
主要技术指标：
• 扫描范围：20μm×20μm×2μm
&#8226; 分辨率：X、Y <1nm、Z<0.1nm
&#8226; 探针曲率半径：<10 nm


测试项目：样品粗糙度、涂层厚度
所用仪器：轮廓仪
测试范围：半导体器件、数据存储媒体、聚合物、金属、陶瓷、生物薄膜等各种基体材料表面镀层的形貌、台阶高度（薄膜的厚度）和粗糙度
主要性能指标：
&#8226; 探针压力： 1～15mg
&#8226; 测量范围：10&Aring;～262μm
&#8226; 可容最大样品厚度：25mm
&#8226; 重复测量的标准方差：<15&Aring;


测试项目：样品表面、断面微观形貌，涂层厚度
所用仪器：扫描电子显微镜
测试范围：各种固体材料的形貌分析、微区化学成分检测，样品成份的线分布和面分布分析
主要技术指标：
&#8226; 分辨率：高真空模式3.0nm, 低真空模式4.0nm
&#8226; 放大率：×5～×300000
&#8226; 最大样品尺寸：125×100×80mm
&#8226; 能谱能量分辨率：129.45eV
&#8226; 可测元素范围：铍Be~锿Es


测试项目：样品颜色、色差
所用仪器：色差仪
测试范围：采用内置CCD数码目标定位系统、投射、反射、前置或上置式测量方式对各种固体、液体材料进行快捷颜色鉴别、色彩品质控制及样品表面结构（镜面）对颜色影响分析
主要性能指标：
&#8226; 测量范围：0～120％，360～740nm光谱范围
&#8226; 反射分辨率：0.01％
&#8226; 测量时间：<4秒