Failure Mode Analysis 续四

Step 5. 製程failure mode之Wn展開

[] Group以設備檢查的角度，檢討異常設備/制程的作業方式、作業規定，是否現行的作業規定[/]

有疏式（KLM﹕PE）？還是未到達作業規定之標準（KLM﹕PD）
2. 若設備查檢無法找到Root cause，PE根據「製程Failure mode」的結果，對各項目展開Wn-Sn，若有不同製程造成相同「製程Failure mode」，則應以（製程＋製程failure mode）的方式分別展開Wn-Sn。（若缺點類型太多，則優先展開柏拉圖分析的前80%）

Step 6. 依7-Step繼續改善
(a)PE依據「製程Failure mode」Wn-Sn所得結果，找出Solution，擬定改善對策。
(b)所有改善對策必須經由Engineering lot的approved。
(c)根據Engineering lot的改善結果，PQE應依據對策的實施狀況預估time-yield chart。
(d)所有對策PQE須確認是否已CCB/System in /Design in。