过程能力

半导体行业工艺设备如何做CMK

对于半导体生产企业，涉及设备有扩散炉、光刻机、蒸发设备，工艺设备的CMK如何做？不是加工设备，或者，其产品的参数不便检测时，如何计算设备的过程能力指数？

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小书童110 (威望:77) (江苏苏州) 机械制造质量经理 - 生命不止，奋斗不息。

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1，设备也分，关键设备，重要设备，一般设备。和客户沟通先确定下来

2，一台设备上有很多参数需要控制，那么，那个参数也是需要确定下来的

3，特性确定，样本大小，取样方法，所以，需要做的还很多！

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