Zeiss三坐标圆柱探针的校准方法

各位同行
有谁知道Zeiss三坐标圆柱探针的校准方法的校准方法，我每次选择Six Point/manual校准模式手动取点校准后，测量数据还是不对，比如Φ5.00mm的标准Pinl量出来竟然4.72。
还望高手指点一下，到底那里出了问题。详细说一下你们的校准方法也可以
望同行不吝赐教，谢谢
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